Mit der Entwicklung von Computern, Mikroelektronik und Informationstechnologie wurde die rrasche Entwicklung der Elektronikfertigungsindustrie gefördert, und auch die Entwicklung der Reinraumtechnologie wurde vorangetrieben. Gleichzeitig werden höhere Anforderungen an die Planung von Reinräumen gestellt.

Die Planung von Reinräumen in der Elektronikfertigungsindustrie ist eine komplexe Technologie. Nur wenn man die Planungsmerkmale der staubfreien Werkstatt der Elektronikfertigungsindustrie vollständig versteht und eine vernünftige Planung umsetzt, können die Produktausfallrate in der Elektronikfertigungsindustrie gesenkt und die Produktionseffizienz gesteigert werden.

Merkmale von Elektronik-Reinräumen

Es wird ein hoher Reinheitsgrad gefordert. Luftmenge, Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Druckdifferenz und Anlagenabluft werden bedarfsgerecht geregelt. Die Beleuchtungsstärke und die Strömungsgeschwindigkeit im Reinraumbereich werden gemäß Planung oder Spezifikationen gesteuert. Darüber hinaus stellt dieser Reinraumhaustyp extrem strenge Anforderungen an die statische Elektrizität. Dabei sind insbesondere die Anforderungen an die Luftfeuchtigkeit sehr streng, da in einer zu trockenen Anlage leicht statische Elektrizität entsteht, die zu Schäden an der CMOS-Integration führen kann.

1. Im Allgemeinen sollte die Temperatur des Elektronik-Reinraums bei etwa 22℃ geregelt werden, und die relative Luftfeuchtigkeit sollte zwischen 50-60% liegen (spezielle Reinräume haben entsprechende Vorschriften zu Temperatur und Luftfeuchtigkeit). Zu diesem Zeitpunkt kann statische Elektrizität wirksam beseitigt werden und die Menschen fühlen sich wohl.

2. Chip-Reinräume, Reinräume für integrierte Schaltungen und Festplattenfertigungswerkstätten sind wichtige Bestandteile von Reinräumen in der Elektronikfertigungsindustrie. Da elektronische Produkte während des Herstellungs- und Produktionsprozesses extrem strenge Anforderungen an die Raumluftumgebung und -qualität stellen, liegt der Hauptfokus auf der Kontrolle von Partikeln und Schwebstaub. Gleichzeitig wurden strenge Vorschriften bezüglich der Umweltemperatur und -feuchtigkeit, der Frischluftmenge und des Lärms erlassen.

3. Der Lärmpegel (im leeren Zustand) im 10,000-Reinraum einer Elektronikfertigungsanlage sollte 65 dB(A) nicht überschreiten.

4. Der Füllungsgrad des Reinraums mit vertikaler Strömung im Reinraum des Elektronikfertigungsbetriebs sollte nicht geringer sein als 60%, und der Reinraum mit horizontaler unidirektionaler Strömung sollte nicht weniger betragen als 40%, and the horizontal unidirectional flow clean room should not be less than 40%, otherwise it will be a partial unidirectional flow.

5. Der statische Druckunterschied zwischen dem Reinraum und der Außenseite des Elektronikfertigungsbetriebs sollte nicht weniger als 10 Pa betragen, und der statische Druckunterschied zwischen dem Reinbereich und dem Nicht-Reinbereich mit unterschiedlicher Luftreinheit sollte nicht weniger als 5 Pa betragen.