Mit der Entwicklung von Computern, Mikroelektronik und Informationstechnologie wurde die rasche Entwicklung der Elektronikfertigungsindustrie vorangetrieben, wodurch auch die Entwicklung der Reinraumtechnik gefördert wurde. Gleichzeitig wurden höhere Anforderungen an die Planung von modularer Reinräume. gestellt. Die Reinraumplanung in der Elektronikfertigungsindustrie ist eine komplexe Technologie.

Nur wenn man die Planungsmerkmale von staubfreien Werkstätten in der Elektronikfertigungsindustrie vollständig versteht und eine vernünftige Planung umsetzt, können die Fehlerquote von Produkten in der Elektronikfertigungsindustrie gesenkt und die Produktionseffizienz gesteigert werden.

Merkmale elektronischer Reinräume

Es wird ein hoher Reinheitsgrad gefordert. Luftvolumen, Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Druckdifferenz und Abluft von Geräten werden bedarfsgerecht geregelt. Die Beleuchtungsstärke und die Strömungsgeschwindigkeit im Reinraumbereich werden gemäß Entwurf oder Spezifikationen gesteuert. Darüber hinaus stellen elektronische Reinräume extrem strenge Anforderungen an die statische Elektrizität.

Unter diesen sind die Anforderungen an die Luftfeuchtigkeit streng, da in einem zu trockenen Werk leicht statische Elektrizität entsteht, die zu Schäden an der CMOS-Integration führen kann.

Im Allgemeinen sollte die Temperatur der Elektronikwerkstatt auf etwa 22°C geregelt werden, und die relative Luftfeuchtigkeit sollte zwischen 50-60% gehalten werden (besondere Reinräume unterliegen entsprechenden Temperatur- und Feuchtigkeitsvorschriften). Zu diesem Zeitpunkt kann statische Elektrizität wirksam beseitigt werden und die Menschen fühlen sich wohl.

Chip-Produktionsstätten, Reinräume für integrierte Schaltkreise und Plattenherstellungswerkstätten sind wichtige Bestandteile von Reinräumen in der Elektronikfertigungsindustrie.

Da elektronische Produkte extrem strenge Anforderungen an das Raumluftmilieu und die -qualität während des Herstellungs- und Produktionsprozesses stellen, steuern sie hauptsächlich Partikel und Schwebestaub als Hauptobjekt. Gleichzeitig gibt es strenge Vorschriften für Umgebungstemperatur und -feuchtigkeit, Frischluftmenge und Lärm.

Faktoren, die die Sauberkeit beeinflussen

Als riesiges Reinraumsystem verfügt der Reinraum über eine große Fläche, muss jedoch auch in komplexe Funktionsbereiche und entsprechende Puffer-Nebenräume unterteilt werden, die zusammen ein komplexes Zu- und Abluftsystem bilden.

Daher gibt es viele Faktoren, die dazu führen, dass die Sauberkeit des Reinraums nicht den Anforderungen entspricht. Dazu gehören hauptsächlich:

(1) Planungsniveau und Klimaanlagen-Layout

Das Planungsniveau des Reinraums und das Layout der Klimaanlage stehen in direktem Zusammenhang mit der Sauberkeitsklasse des Reinraums.

(2) Ausführungsniveau

Die allgemeine Bauqualität der Anlage, die Installationsqualität der Klimaanlage, des Zuluftsystems, des Abwassersystems und anderer Sicherungseinrichtungen stehen in engem Zusammenhang mit der Sauberkeit des Reinraums.

(3) Luftführung

Wenn die Luftführung unvernünftig ist, kann die Zuluft den Arbeitsbereich nicht vollständig abdecken.

) Die ungeeignete Position der Zu- und Abluftauslässe führt zu höheren und größeren Wirbelströmen, und der Luftströmungs-Ablenkwinkel des Reinraums mit unidirektionaler Strömung ist zu groß.

Wenn die Öffnungsfläche des Umluftgitters unvernünftig angeordnet ist, ist die Umluftgeschwindigkeit zu hoch und die Rückluft strömt nicht reibungslos.

(4) Schwebstofffilter (HEPA)

Qualitätsprobleme oder Installationsfehler bei Schwebstofffiltern führen dazu, dass die in den Reinraum eingeblasene Luft nicht effektiv gefiltert wird und einige in der Luft suspendierte Staubpartikel nicht herausgefiltert werden, was zu einer unzureichenden Reinraumsauberkeit führt.

(5) Luftwechselrate

) Ein unzureichender Luftwechsel führt dazu, dass die verschmutzte Luft im Reinraum nicht schnell aus dem Reinraum abgeführt wird, und eine zu geringe Luftwechselrate kann die Verschmutzung durch Staubquellen nicht unterdrücken.

(6) Statischer Differenzdruck

Der unzureichende statische Differenzdruck führt dazu, dass der Reinraum das Eindringen externer Schadstoffe in den Reinraum nicht abhalten kann.

(7) Luftdusche

Die Luftdusche dient als notwendiger Schleusenkanal beim Betreten des Reinraums, um Verschmutzungsprobleme durch das Betreten und Verlassen des Reinraums zu reduzieren. Daher steht ihre Qualität in engem Zusammenhang mit der Sauberkeit des Reinraums.

(8) Aufstellung der Geräte

Die unvernünftige Platzierung von Innengeräten beeinträchtigt die Luftströmung im Reinraum von oben nach unten und von der Mitte nach außen, was Luftturbulenzen verursacht und verhindert, dass Schadstoffe effektiv aus dem Reinraum abgeführt werden.

(9) Einbringen neuer Geräte

Der Prozess des Einbringens neuer Geräte erfordert eine Verbindung der Reinraumumgebung mit der Außenatmosphäre. Daher ist es notwendig, die Einbringzeit sowie den Transport- und Installationsprozess der Geräte streng zu kontrollieren. Gleichzeitig muss die Umverpackung der Geräte vor dem Einbringen gründlich abgewischt und gereinigt werden.

(10) Chemische Substanzen

Chemische Substanzen in Rohstoffen und Derivaten erzeugen im Produktionsprozess bestimmte flüchtige Stoffe, die die Sauberkeit des Reinraums beeinträchtigen.

(11) Reinigungsstufe

Eine unvollständige Reinigung des Reinraums führt zur Ansammlung von Schadstoffen im Raum, wodurch hygienische blinde Flecken entstehen.

(12) Personal- und Materialbetrieb

Während des Betriebs des Reinraums kann die Bewegung von Personal und Materialien leicht Luftturbulenzen um empfindliche Tätigkeiten herum erzeugen, was die Hauptverschmutzungsquelle für die Sauberkeit darstellt.

Ein zu hoher Materialfluss, eine zu große Anzahl von Bedienern und das nicht ordnungsgemäße Tragen von Reinraumkleidung führen zu übermäßiger Staubemission.